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此文为诺巴迪实验室人员从实验角度提出的管式炉选购建议及技巧

发布时间:2019-07-06  浏览次数:83

 此文为诺巴迪实验室人员从实验角度提出的管式炉选购建议及技巧。文中图片文字包含链接较多,建议在wifi环境下浏览。

 

1、根据温度选择管式炉

 

A、选择工作温度时,请注意仪器所能保持的最高温度(<1小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)。

例如:诺巴迪NBD-T1700管式炉

最高加热温度1700℃,连续工作温度1600℃ ,如有不清楚的地方,请联系诺巴迪销售。

 


 (点击图片链接)

B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前我公司加热元件可分为四类:

1)250 ~ 1250℃ 采用电阻丝加热元件或红外灯管加热元件,最高加热温度1200℃,长时间使用1100℃,采用K型热电偶测温(如果客户需要也可更换为S热偶)。

例如:诺巴迪NBD-01200-50IT





 (点击图片链接)

2)1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加热元件,采用S型热电偶测温。                                          

3)1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加热元件(禁止长时间在800℃以下加热),采用B型热电偶测温。                           

 

2、根据样品大小选择坩埚→炉管管径→管式炉

 

A、坩埚选择(严禁不用坩埚直接将样品放入常规炉管)

a.石英坩埚:≤1200℃使用石英管,热处理温度超过600℃时,请不要用氧化铝坩埚。


 

b.氧化铝坩埚:≤1800℃使用刚玉管,热处理温度超过900℃时,请不要用莫来石坩埚。



 

c.石墨坩埚:≤ 2300℃
 



例如:

1.需要对粉末进行900℃热处理,选择石英坩埚装载样品。
2.需要将合金在1600℃熔化,选择氧化铝坩埚。

B、管径的选择

1)选择好坩埚后,根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径(一般买炉子会标配有加热炉管)。

a.石英管 ≤1200℃ (真空环境下最高1000℃)

例如:各种放样品的情况   

 

b.刚玉管  ≤1800℃  (刚玉管不建议真空环境下使用)


 


 C、诺巴迪管式炉管径与坩埚尺寸估算表

 

3、根据温区选择管式炉(点击此链接)

 

4、根据功能选择加热炉
 

   管式炉为基础加热系统,您可以根据不同的需求选择成套科晶系统,如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和二维材料生长系统等。

例如:

1)生长石墨烯/PECVD系统,整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统。

 

 

 

  

 

 

 实图1 

实图2 

 CVD系统

(点击图片链接)

PECVD系统

(点击图片链接)   

2)立式管式炉:加热管垂直放置,以悬吊样品的方式,为样品提供淬火。
 


                                                                      (点击图片链接)

3)RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却。

例如:




 

a.NBD-HR1200-110IT快速退火炉,最快500℃/s升温速度,红外灯管加热。


 (点击图片链接)

b.快速加热冷却炉,加热炉加热到某一温度后,滑至样品所在区域,可以提高升温速度,热处理结束,将炉体移开,使样品所在区域暴露在炉膛外快速冷却。






 (点击图片链接)

4)高温高压炉/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管,对样品进行高温高压和真空处理。


 

  (点击图片链接)

5)旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末,同时也可以达到粉末均匀包覆的效果。



  

  (点击图片链接)   (点击图片链接)

 

6)氢气炉/气氛炉:氢气处理或其他危险气体的实验,请和销售技术人员提前说明。不建议使用普通管式炉做危险实验。

 

  

       

           (点击图片链接)

5、选择合适的真空泵:本公司多种真空泵可选


     


(点击图片链接)

 

6、定制炉:定制炉由于其特殊性请和销售部直接沟通
 

7、如果您还有不明白的地方,请您联系我们 (点击文字查看联系方式)

 



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